全国服务热线
400-806-1279
华东地区热线
- 华东地区热线
- 华北地区热线
- 华南地区热线
- 中西部地区热线
- 海外热线
400-806-1279-转拨1
定制-单面单体半导体设备与箱式气氛箱集成 VGB-6-600C
惰性气氛循环手套箱
产品介绍
VGB-6-600C 单面单体双工位半导体设备与箱式气氛箱集成手套箱
长x 宽x高= 1400 x 1100 x 1600mm单节标准型双工位定制手套箱，单面操作，标准的倾斜式工作面。
产品型号
VGB-6-600C
性能亮点
1.PLC控制及触摸屏操作：最大程度实现人工智能化。
2.全自动大过渡舱自动抽补系统：只需在触摸屏中简易操作即可。
3.独立式控制柜内部集成净化系统：在减少设备占用空间的同时，方便移动和更换，内置10Kg大容量有机溶剂吸附系统，大容量专业级水、氧淨化柱吸附系统，可迅速净化手套箱内部实验环境。在标准状况下，即200C恒温，一个标准大气压，相对湿度65%，99.999%的惰性气源，水、氧指标小于0.1 ppm。
基本配置
| 名称 | 序号 | 配置 | 单位 | 数量 | 生产商/品牌 | 备注 |
|
主
要
配
置
|
1 | 箱体 | 台 | 1 | 自制 | 304不锈钢 厚度3mm |
| 2 | 过渡舱 | 套 | 1 | 自制 | 304不锈钢 | |
| 3 | 控制系统 | 套 | 1 | 德国SIEMENS、ABB电子器件等 | 进口组装 | |
| 4 | 循环系统（含净化再生系统） | 套 | 1 | 德国BASF、美国UOP净化材料、德国宝德阀门 | 进口组装 | |
| 5 | 显示系统 | 套 | 1 | 德国SIEMENS | 原装进口 | |
| 6 | 手套 | 双 | 2 | 国产 | ||
| 7 | 压力表 | 套 | 1 | 高端定制 | ||
| 8 | 水分析仪 | 台 | 1 | 英国Michell | 原装进口 | |
| 9 | 氧分析仪 | 台 | 1 | 德国OEM | 原装进口 | |
| 10 | 真空泵 | 台 | 1 | 国产 | ||
| 11 | 自动清洗 | 套 | 1 | 自研 | ||
| 12 | 氧上限自动声光报警系统 | 套 | 1 | 自研 | ||
| 13 | 前门开启式 | 套 | 1 | 自研 | 自制 | |
| 14 | 大过渡舱自动抽补气控制 | 套 | 1 | 德国宝德阀门 | 进口组装 | |
| 15 | 高真空气动挡板阀 | 套 | 1 | 四川九天真空 | 国产 | |
| 16 | 配置固定式氢气含量检测仪表 | 套 | 1 | 深圳市奥迪特科技 | 国产 | |
| 17 | 配置箱体温度检测报警装置 | 套 | 1 | 自制 | 国产 | |
| 客户要求 | 1. 除开启式前门和后置圆形直径150mm为可视窗结构外，其余窗口均采用6061铝合金封板结构（不可视）。 | |||||
| 2. 外部加强水冷管道装置，分别位于管道进气口和出气口处。 | ||||||
| 3. 箱体材质均为304不锈钢，外部喷塑为白菊纹色。 | ||||||
| 特别注意 | 1. 箱体实际使用环境温度范围20-40摄氏度，超出范围造成设备损坏，后果自行承担。 | |||||
| 2. 配置固定式氢气含量检测仪表为独立监测仪表，单独操作。可单独开、关。 | ||||||
| 3.检测数值会因氧含量较低数值变化而异常变化，无规律。 | ||||||